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Glaswafer

Wafer aus technischen und optischen Gläsern

Typische Anwendungen

  • Wafer für anodisches Bonden mit Silizium
  • Anwendungen in der Mikrolithografie
  • Wafer aus Glas für Halbleiter-Technologie
  • Wafer-Substrate für Mikrosystemtechnik und Mikromechanik (MEMS)
  • Träger für elektronische Schaltungen
  • Mikrostrukturanwendungen
  • Electronic Packaging
  • Hochwertiger Ersatz für Wafer aus PYREX® 7740

Der Begriff "Wafer" stammt ursprünglich aus der Halbleiter-Technologie. Er bezeichnet die typische Form einer runden Scheibe aus Silizium mit einem der Orientierung dienenden Abschnitt, welcher "Flat" genannt wird (siehe Bild unten).

Wir fertigen polierte Wafer aus BOROFLOAT® oder aus MEMpax®-Glas, welche sich beide hervorragend für anodisches Bonden von Glas mit Silizium eignen. Mit diesen Materialien von SCHOTT lassen sich Wafer aus PYREX® 7740, dessen Produktion vor vielen Jahren eingestellt wurde, vollwertig ersetzen. Zu unserem umfangreichen Lieferprogramm gehören, neben den bereits erwähnten Materialien, auch Wafer aus alkalifreien Gläsern, Wafer aus Dünnglas, Wafer aus Displayglas, Wafer aus optischen Gläsern sowie Dummy-Wafer aus kostengünstigen Gläsern. Eine Übersicht über die Materialien, die wir für die Herstellung von Wafern einsetzen, finden Sie auf dieser Webseite unter der Überschrift "Standard-Glaswafer".

 

Borosilicatglaswafer mit Flat

Wafer aus Borosilicatglas mit Flatanschliff

Obiges Bild zeigt einen beidseitig polierten Wafer (auf deutsch: Scheibe) mit SEMI-Standard-Flat und 4 Zoll Durchmesser aus SCHOTT BOROFLOAT® Borosilicatglas.

 

Unsere Wafer weisen, je nach Ausführung, entweder polierte oder sehr hochwertige feuerpolierte Oberflächen auf. Die Materialien mit Feuerpolitur stehen den zusätzlich mechanisch polierten Gläsern oft qualitativ weder in Oberflächenqualität noch in Ebenheit nach. Sie weisen meist eine sogar bessere Mikrorauigkeit und Glattheit auf, als durch eine mechanische Politur ohne hohen Zusatzaufwand erzielbar ist. Bereits unsere Standard-Wafer bieten eine ausgezeichnete Ebenheit und eine geringe Durchbiegung, die bei den feuerpolierten Wafern letztendlich nur vom verwendeten Glas abhängt. Zahlreiche MEMS-Prozesse und vielfältige mikrooptische Anwendungen sind mit diesen Wafern möglich.

Wir produzieren ständig Wafer aus optischem Quarzglas (Fused Silica) und verschiedensten anderen hochwertigen technischen und optischen Spezialgläsern. Aber auch Wafer aus kostengünstigerem Material, wie zum Beispiel unserem selektierten Floatglas, stellen wir täglich her. Solche Wafer werden bei moderateren Anforderungen oftmals als sogenannte "Dummy-Wafer" eingesetzt und erlauben gegenüber Wafern aus höherwertigen Gläsern fast immer deutliche Kosteneinsparungen.

Unsere Standard-Glaswafer können auf Wunsch eine primäre SEMI-Standard-Flat erhalten. Bei Bedarf fertigen wir für Sie auch Wafer mit kundenspezifischen Abmessungen und Formen. Ebenfalls ist eine spezielle CNC-Bearbeitung und eine definierte Kantenkonfiguration für die meisten Gläser bei hinreichenden Abnahmemengen optional möglich. Bei größeren Produktionschargen können besondere Kantenformen und Notches, wie sie in der Halbleiterindustrie üblich sind, an die Wafer angebracht werden.

Zusätzlich zu den in diesem Datenblatt aufgeführten Spezifikationen, stellen wir auf Anfrage auch Wafer aus Glas mit kundendefinierter Politur, engerer TTV (Total Thickness Variation) sowie speziellen Oberflächenqualitäten her. Bei technischen Fragen und für weitere Informationen zu solchen Wafern, kontaktieren Sie uns bitte im Bedarfsfall über unser Anfrageformular oder per E-Mail.

 

Wie frage ich die Standard-Wafer an?

Wenn Sie einen unserer in dieser Webseite gelisteten Standard-Glaswafer anfragen möchten, klicken Sie bitte eine der aufgeführten möglichen Dicken des jeweiligen Glases an. Es öffnet sich dann ein Anfrageformular mit vorausgewähltem Material und der gewünschten Glasdicke.

In allen anderen Fällen, also um ein Angebot über kundenspezifische Wafer anzufordern, klicken Sie bitte auf die nachfolgende Schaltfläche:

 

Preisanfrage
kundenspezifische Wafer aus Glas

 

Standard-Glaswafer

Die nachfolgenden Wafer sind in allen gängigen Millimeter-, Zoll- und Inch-Durchmessern oder als rechteckiger Zuschnitt nahezu jederzeit, meist sogar im Rahmen unseres 48 h-Eilservice lieferbar.

Wafer-Glasmaterialien und Standarddicken

Ausführung CNC-geschnitten, ungefast:

Auf Wunsch mit SEMI-Standard-Flat
(Bitte angeben, falls gewünscht). Die TTV und Oberflächenqualität ist bei dieser Ausführung abhängig vom gewählten Glas.

Mögliche Durchmesser bei dieser Ausführung
(Falls nicht anders angegeben)

  • 50 mm / 2" (= 50,8 mm)
  • 75 mm / 3" (= 76,2 mm)
  • 100 mm / 4" (= 101,6 mm)
  • 150 mm / 6" (= 152,4 mm)
  • 200 mm / 8" (= 203,2 mm)
  • 300 mm / 12" (= 304,8 mm)
  • Kundenspezifische Durchmessers

Zum Anfragen bitte Glasdicke anklicken

Dicke
(mm)

Nominale Dickentoleranz
(mm)

48 h-Eilservice Symbol
Wafer aus AF 32® eco
Alkalifreies Aluminium-Borosilicat-Dünnglas
0,10 ±0,015 -
0,20 ±0,020
0,30 ±0,020
0,40 ±0,020
0,50 ±0,300
Wafer aus AF 45
Alkalifreies, modifiziertes Borosilicat-Displayglas
0,70 ±0,050
Wafer aus AS 87 eco
Alumosilikat-Dünnglas
0,175 ±0,010
Wafer aus BK7
Optisches Glas
1,00 ±0,100
1,00 ±0,025
  • Beidseitig optisch poliert
  • Maximaldurchmesser 150 mm
    (ohne Flat bis 200 mm)
Wafer aus BOROFLOAT®
Borosilicatglas
0,70 ±0,05
1,10 ±0,05
Wafer aus D 263 T
Borosilikat-Dünnglas
0,175 ±0,015
0,210 ±0,020
0,300 ±0,020
0,400 ±0,020
0,550 ±0,050
0,700 ±0,050
1,100 ±0,050
Wafer aus EAGLE2000
Alkalifreies Boro-Aluminiumsilicatglas
0,700 ±0,070
1,100 ±0,100
Wafer aus 1737F
Alkalifreies Aluminiumsilicatglas
0,700 ±0,070
1,100 ±0,100
Wafer aus MEMpax®
Borosilicat-Dünnglas (Ersatz für PYREX® Wafer)
0,200 ±0,012
0,300 ±0,012
0,400 ±0,015
0,500 ±0,018
(Maximaldurchmesser 200 mm oder 8")
Wafer aus selektiertem Floatglas
Eisenreduziertes Kalk-Natron-Glas
0,40 ±0,05
0,55 ±0,05
0,70 ±0,05
0,95 ±0,05
1,00 ±0,10
Wafer aus Quarzglas mit UV-Qualität
Optisches Quarzglas (Fused Silica)
0,50 ±0,05
1,00 ±0,10
  • Beidseitig optisch poliert
  • Maximaldurchmesser 100 mm
    (ohne Flat bis 150 mm)
  • Transmission > 80% bereits bei 185nm

Wafer aus ITO-beschichteten Gläsern
Leitfähige und transparente Schichten auf verschiedensten Glasmaterialen:

Mit "✔" markierte Dicken sind auch im 48h–Eilservice lieferbar.

 

Beidseitig optisch polierte Glaswafer

Generell können auf Wusch und bei ausreichender Fertigungsmenge alle Gläser zusätzlich beidseitig poliert und zu Glaswafern verarbeitet werden, auch wenn dies nicht immer von Vorteil ist, da die von uns verarbeiteten Gläser fast alle bereits eine sehr gute optische Qualität besitzen. Die nachfolgenden Glaswafer haben eine zusätzliche, hochwertige, beidseitige optische Politur. Bei hinreichender Stückzahl ist auch ein optionaler Notch möglich.

Beachten Sie bitte auch unsere unten aufgeführten, ständig verfügbaren, polierten Standard-Glaswafer aus BOROFLOAT® mit 100 mm Durchmesser. Diese Ausführung eignet sich hervorragend, um Wafer aus dem nicht mehr verfügbaren PYREX® zu ersetzen.

Ausführung beidseitig optisch poliert,
Wafer-Kante mit C-Schliff

Mögliche Durchmesser bei dieser Ausführung

  • 50 mm / 2" (= 50,8 mm)
  • 75 mm / 3" (= 76,2 mm)
  • 100 mm / 4" (= 101,6 mm)
  • 150 mm / 6" (= 152,4 mm)
  • 200 mm / 8" (= 203,2 mm)
  • 300 mm / 12" (= 304,8 mm)
  • Kundenspezifische Durchmesser

Wafer aus BOROFLOAT® , beidseitig optisch poliert und nahezu immer verfügbar:

  • ø 100 mm (+/-0,2)
  • Total thickness variation (TTV) < 10 μm
  • Oberflächenqualität besser als 60-40 s&d
  • SEMI-Standard Flat-Anschliff 32,5 mm (+/-1,0)

Dicke
(mm)

Nominale Dickentoleranz
(mm)

48 h-Eilservice Symbol
0,500 ±0,015
0,525 ±0,020
0,700 ±0,020
Eine TTV bis < 3 µm ist auf Anfrage möglich.
Mit "✔" markierte Dicken sind auch im 48h–Eilservice lieferbar.

Bei hinreichender Abnahmemenge stellen wir auch kundenspezifische, beidseitig polierte Wafer aus jedem geeigneten Glas oder glaskeramischem Material her. Bitte klicken Sie auf die nachfolgende Schaltfläche, falls Sie polierte Wafer anfragen möchten.

 

Preisanfrage
polierte Wafer aus kundenspezifischem Glas

 

Alle gemachten Angaben und Spezifikationen sind mittlere Richtwerte und nicht garantiert. Bitte beachten Sie außerdem unsere "Hinweise zu Spezifikationen".

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Letzes Update 26.01.2021