Titelbild Optik, Glaswafer
 
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Glaswafer

Wafer aus technischen und optischen Gläsern

Typische Anwendungen

  • Wafer für anodisches Bonden mit Silizium
  • Anwendungen in der Mikrolithografie
  • Wafer aus Glas für Halbleiter-Technologie
  • Wafer-Substrate für Mikrosystemtechnik und Mikromechanik (MEMS)
  • Träger für elektronische Schaltungen
  • Mikrostrukturanwendungen
  • Electronic Packaging
  • Hochwertiger Ersatz für Wafer aus PYREX® 7740

Der Begriff "Wafer" stammt ursprünglich aus der Halbleiter-Technologie und bezeichnet die typische Form einer runden Scheibe aus Silizium mit einem der Orientierung dienenden Abschnitt, welcher "Flat" genannt wird (siehe Bild unten).

Wir fertigen polierte Wafer aus BOROFLOAT® oder aus MEMpax®-Glas, welche sich beide hervorragend für anodisches Bonden von Glas mit Silizium eignen. Mit diesen Materialien von SCHOTT lassen sich Wafer aus PYREX® 7740, dessen Produktion vor vielen Jahren eingestellt wurde, vollwertig ersetzen. Zu unserem umfangreichen Lieferprogramm gehören, neben den bereits erwähnten Materialien, auch Wafer aus alkalifreien Gläsern, Wafer aus Dünnglas, Wafer aus Displayglas, Wafer aus optischen Gläsern und Wafer aus kostengünstigen Gläsern. Eine Übersicht über die Materialien, die wir für die Herstellung von Wafern einsetzen, finden Sie auf dieser Webseite unter der Überschrift "Standard-Glaswafer".

 

Borosilicatglaswafer mit Flat

Wafer aus Borosilicatglas mit Flatanschliff

Obiges Bild zeigt einen beidseitig polierten Wafer (auf deutsch: Scheibe) mit SEMI-Standard-Flat und 4 Zoll Durchmesser aus SCHOTT BOROFLOAT® Borosilicatglas.

 

Unsere Wafer weisen, je nach Ausführung, entweder polierte oder sehr hochwertige feuerpolierte Oberflächen auf. Die Materialien mit Feuerpolitur stehen den zusätzlich mechanisch polierten Gläsern oft qualitativ weder in Oberflächenqualität noch in Ebenheit nach. Sie weisen meist eine sogar noch bessere Mikrorauigkeit und Glattheit auf, als durch eine mechanische Politur ohne hohen Zusatzaufwand erzielbar ist. Bereits unsere Standard-Wafer bieten in der Regel eine ausgezeichnete Ebenheit und eine geringe Durchbiegung, welche letztendlich bei den feuerpolierten Wafern nur vom verwendeten Glas abhängt. Zahlreiche MEMS-Prozesse und vielfältige mikrooptische Anwendungen sind mit diesen Wafern möglich.

Wir produzieren ständig Wafer aus optischem Quarzglas, (Fused Silica) und verschiedensten anderen hochwertigen technischen und optischen Spezialgläsern. Aber auch Wafer aus kostengünstigerem Material, wie zum Beispiel aus unserem selektierten Floatglas, stellen wir täglich her. Solche Wafer werden bei moderateren Anforderungen oftmals als sogenannte "Dummy-Wafer" eingesetzt und erlauben gegenüber Wafern aus höherwertigen Gläsern fast immer deutliche Kosteneinsparungen.

Unsere Standard-Glaswafer können auf Wunsch eine primäre SEMI-Standard-Flat erhalten. Bei Bedarf fertigen wir für Sie auch Wafer mit kundenspezifischen Abmessungen und Formen. Ebenfalls ist eine spezielle CNC-Bearbeitung und eine definierte Kantenkonfiguration für die meisten Gläser bei hinreichend großen Abnahmemengen optional möglich. Bei größeren Produktionschargen können Kantenformen und Notches, wie sie in der Halbleiterindustrie üblich sind, an die Wafer angebracht werden.

Zusätzlich zu den in diesem Datenblatt aufgeführten Spezifikationen, stellen wir auf Anfrage auch Wafer aus Glas mit kundendefinierter Politur, engerer TTV (Total Thickness Variation) sowie besonderen Oberflächenqualitäten her. Bei technischen Fragen und für weitere Informationen zu solchen Wafern kontaktieren Sie uns bitte im Bedarfsfall über unser Anfrageformular oder per E-Mail.

 

Wie frage ich die Wafer an?

Wenn Sie einen unserer in dieser Webseite gelisteten Standard-Glaswafer anfragen möchten, klicken Sie bitte auf eine der in dieser Webseite aufgelisteten möglichen Dicken. Es öffnet sich dann ein Anfrageformular mit vorausgewähltem Material und der gewünschten Dicke.

In allen anderen Fällen, also um ein Angebot über kundenspezifische Wafer anzufordern, klicken Sie bitte auf die nachfolgende Schaltfläche:

 

Preisanfrage
kundenspezifische Wafer aus Glas

 

Standard-Glaswafer

Die nachfolgenden Wafer sind in allen gängigen Millimeter-, Zoll- bzw. Inch-Durchmessern nahezu jederzeit lieferbar, meist sogar im Rahmen unseres 48 h-Eilservice.

 

Ausführung CNC-geschnitten, ungefast:

Auf Wunsch mit SEMI-Standard-Flat (bitte angeben, falls erforderlich). TTV und Oberflächenqualität ist abhängig vom Glas.

 

Mögliche Durchmesser in dieser Ausführung

(falls nicht anders angegeben)
  • 50 mm / 2" (= 50,8 mm)
  • 75 mm / 3" (= 76,2 mm)
  • 100 mm / 4" (= 101,6 mm)
  • 150 mm / 6" (= 152,4 mm)
  • 200 mm / 8" (= 203,2 mm)
  • 300 mm / 12" (= 304,8 mm)
Bitte klicken Sie die gewünschten Dicken an um die betreffenden Wafer anzufragen:
 
Wafer aus AF 32® eco (alkalifrei)
 
Wafer aus AF 45 (alkalifrei)
 
Wafer aus AS 87 eco (Dünnglas)
  • Dicken: 0,175 mm
  • Maximaldurchmesser 200 mm oder 8"
 
Wafer aus BK7 (Optisches Glas)
 
Wafer aus BOROFLOAT® (Borosilicatglas)
 
Wafer aus D 263 T (Dünnes Displayglas)
 
Wafer aus EAGLE2000 (alkalifrei)
 
Wafer aus 1737F (alkalifrei)
 
Wafer aus MEMpax® (Borosilicat-Dünnglas)
 
Wafer aus selektiertem Floatglas
(Kalk-Natronglas)
 
Wafer aus Quarzglas mit UV-Qualität,
beidseitig optisch poliert (Optisches Quarzglas)
  • Beidseitig mit optischer Politur
  • Mögliche Dicken: 0,30 mm ; 0,50 mm ; 1,00 mm
  • Maximaldurchmesser 100 mm (ohne Flat bis 150 mm)
  • Transmission > 80% bereits bei 185nm
 
Wafer aus ITO-beschichteten Gläsern

 

Ausführung Kante mit C-Schliff:

Alle Wafer dieser Kategorie haben einen primären
SEMI-Standard-Flat-Anschliff mit 32,5 mm (+/-1,0).

 

Wafer aus BOROFLOAT® (Borosilikatglas)
48 h-Eilservice Symbol Auch im 48 h-Eilservice bestellbar

Oben genannte Wafer sind nahezu alle ständig im Rahmen unseres Eilservice lieferbar.

 

Natürlich ist bei hinreichender Abnahmemenge auch die Herstellung von kundenspezifischen Wafern aus glaskeramischem Material oder nahezu jedem anderen Glasmaterial möglich. Bitte senden Sie uns Ihre Anfrage, falls Sie Wafer aus einem anderen Material benötigen.

 

Alle gemachten Angaben und Spezifikationen sind mittlere Richtwerte und nicht garantiert. Bitte beachten Sie außerdem unsere "Hinweise zu Spezifikationen"

 

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