Titelbild optisches Glas
 
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MEMpax®

Dünnes Borosilicatglas

Besondere Eigenschaften

  • Äußerst geringe Dickentoleranz
  • Geringe thermische Ausdehnung (ähnlich Silizium)
  • Hohe Einsatztemperatur
  • Geringe Autofluoreszenz
  • Hohe UV-Durchlässigkeit
  • Gute chemische Resistenz
  • Gute Isolationseigenschaften
  • Geringe Dichte
  • Hohe Lichtdurchlässigkeit
  • Gute Oberflächenqualität
  • Sehr geringe Mikrorauhigkeit

Typische Anwendungen

  • Wafer für anodisches Bonden
  • Mikroelektromechanische Systeme (MEMS)
  • Biotechnologie
  • Meß- und Sensortechnologie
  • Chemisch beständige Deckgläser
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MEMpax® ist ein dünnes Glas mit den außergewöhnlichen technischen Eigenschaften von Borosilikatglas. Das Glas hat eine sehr glatte Oberfläche und erreicht resultierend aus einer technologisch ausgereiften Feuerpolitur eine äußerst geringe Mikrorauhigkeit von typisch < 0,8 nm. Auch die Oberflächenqualität und Ebenheit von MEMpax® sind bereits besser als das, was eine zusätzliche mechanische, optische Standardpolitur bei solch geringen Glasdicken bieten könnte.

Durch einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten welcher nahe bei dem von Silizium liegt, eignet sich das Dünnglas hervorragend zum anodischen Bonden. Daher stellen wir auch Wafer aus MEMpax für diesen Einsatzzweck her. Weitere typische Einsatzbereiche für das Dünnglas finden sich im Bereich MEMS (Mikroelektromechanische Systeme), in der Biotechnologie und vielen anderen Anwendungen die ein dünnes Borosilikatglas erfordern.

Wenn Sie MEMpax® mit individuellen Abmessungen oder als Wafer anfragen möchten, klicken Sie bitte auf nachfolgende Schaltfläche:

 

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Hinweis: MEMpax® ist ein relativ neues Glas von SCHOTT. Wenn Sie z.B. eine große Wafer-Serienproduktion planen und keine der rechts unten genannten Dicken in Ihre Anwendung passt, kontaktieren Sie uns bitte. Wenn Ihre benötigte Materialmenge groß genug ist, können wir in der Einführungsphase von MEMpax® darauf hinwirken, dass die von Ihnen benötigte Glasdicke möglicherweise künftig von SCHOTT ebenfalls produziert wird.

 

Spezifikationen

 

Transmissionsspektrum bei 0,5 mm Glasdicke

MEMpax® Transmission

Transmissionsspektrum von MEMpax bei 200-1100 nm

 

UV-Transmission bei 0,5 mm Glasdicke

MEMpax® UV-Transmission

UV-Transmission von MEMpax bei 200-400 nm

 

Optische Eigenschaften

  • Abbesche Zahl ve: 65,4

Brechzahlen von MEMpax

Bezeichnung

Wellenlänge (nm)

Brechungsindex

ng
435,8
1,4803
nF'
479,9
1,4768
ne
546,1
1,4732
nd
587,6
1,4715
nD
589,3
1,4714
nC'
643,8
1,4696
nC
656,3
1,4693

Mechanische Eigenschaften

  • Dichte: 2,22 g/cm3 (gekühlt mit 40°C/h)
  • Elastizitätsmodul E: 62,7 kN/mm2
  • Poissonzahl μ: 0,196
  • Torsionsmodul G: 26,2 kN/mm2
  • Knoop-Härte HK0,1/20: 430

Thermische Eigenschaften

  • Mittlerer thermischer Ausdehnungskoeffizient:
    3,3 x 10-6/K (20 °C ; 300 °C) (statisch gemessen)
  • Spezifische Wärmekapazität cP: 0,82 kJ (kg x K)-1
  • Wärmeleitfähigkeit: 1,12 W (m x K)-1 (90 °C)
  • Transformationstemperatur Tg: 532 °C
  • Viskositäten:
    • Einsinktemperatur (104 dPa): 1284 °C
    • Erweichungspunkt (107,6 dPa): 831 °C
    • Oberer Kühlpunkt (1013 dPa): 570 °C
    • Untere Kühltemperatur (1014,5 dPa): 528 °C

Chemische Eigenschaften

  • Wasserbeständigkeit:
    • Klasse HGB 1 (gemäß ISO 719)
  • Säurebeständigkeit:
    • Klasse S 1 (gemäß DIN 12 116)
  • Laugenbeständigkeit:
    • Klasse A 2 (gemäß ISO 695)

Elektrische Eigenschaften

  • Dielektrizitätskonstante εr: 4,8 (1 Mhz)
  • Dielektrischer Verlustfaktor (tan δ):
    37,6 x 10-4 (1 Mhz)
  • Spezifischer elektrischer Durchgangswiderstand
    (Gleichstrom) :
    • 1,18 x 108 Ω x cm (250 °C)
    • 4,24 x 106 Ω x cm (350 °C)

Verfügbare Dicken

Dicke

Toleranz

Dicke

Toleranz

0,20 mm ±0,012 0,30 mm ±0,012
0,40 mm ±0,015 0,50 mm ±0,018

Wen Sie größere Glasdicken benötigen, bietet sich die alternative Verwendung von SCHOTT BOROFLOAT® 33 an. Es weist nahezu die gleiche thermische Ausdehnung, den gleichen Brechungsindex und die gleiche Dichte wie MEMpax® auf. BOROFLOAT® ist in einem sehr großen Dickenbereich ab 0,7 mm Dicke verfügbar.

MEMpax® und BOROFLOAT®sind eingetragene Marken der SCHOTT AG.

 

Alle gemachten Angaben und Spezifikationen sind mittlere Richtwerte und nicht garantiert. Bitte beachten Sie außerdem unsere "Hinweise zu Spezifikationen"