MEMpax^® – Dünnes Borosilicatglas mit hoher Präzisison

Besondere Eigenschaften

• Äußerst geringe Dickentoleranzen
• Geringe thermische Ausdehnung (ähnlich Silizium)
• Hohe Einsatztemperatur
• Niedrige Autofluoreszenz
• Gute UV-Durchlässigkeit
• Gute chemische Resistenz
• Gute Isolationseigenschaften
• Geringe Dichte
• Hohe Lichttransmission
• Ausgezeichnete Oberflächenqualität
• Sehr geringe Mikrorauhigkeit

Typische Anwendungen

• Wafer für anodisches Bonden
• Mikroelektromechanische Systeme (MEMS)
• Biotechnologie
• Mess- und Sensortechnologie
• Chemisch beständige Deckgläser

Verwandte Glastypen

• BOROFLOAT^® 33 (Borosilikatglas von SCHOTT)
• D 263 T (Borosilikat-Dünnglas)
• AS 87 eco (ultradünnes Alumosilikatglas)
• AF 32^® eco (Aluminium-Borosilicat-Dünnglas)
• AF 45 (alkalifreies Display-Dünnglas)
• 0211 (alkalireduziertes Borosilikat-Dünnglas)
• Selektiertes Floatglas (Kalk-Natron-Dünnglas)

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Auch im 48-h-Eilservice bestellbar

MEMpax^® ist ein Dünnglas mit hoher Präzision und bietet die außergewöhnlichen technischen Eigenschaften von Borosilikatglas. Es hat eine sehr glatte Oberfläche und erreicht, resultierend aus einer technologisch ausgereiften Feuerpolitur, eine äußerst niedrige Mikrorauigkeit von typisch < 0,8 nm. Auch die Oberflächenqualität und Ebenheit von MEMpax^® sind bereits besser als das, was eine mechanische optische Standardpolitur bei solch geringen Glasdicken erzielen könnte. Überdies bieten bereits die MEMpax^®-Standarddicken eine außergewöhnlich hohe Präzision und äußerst enge Dickentoleranzen, wie sie oft in der Halbleitertechnik gefordert werden.

Bedingt durch einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten, der nahe bei dem von Silizium liegt, eignet sich das Dünnglas hervorragend für anodisches Bonden. Daher stellen wir auch Wafer aus MEMpax für diesen Einsatzzweck her. Weitere typische Einsatzbereiche für das Dünnglas finden sich im Bereich MEMS (Mikroelektromechanische Systeme), in der Biotechnologie und in vielen anderen Anwendungen, die ein dünnes Borosilikatglas erfordern.

Wenn Sie MEMpax^® mit individuellen Abmessungen oder als Wafer anfragen möchten, wählen Sie eine Dicke aus der Dickentabelle aus oder klicken Sie bitte auf nachfolgende Schaltfläche.

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Hinweis: MEMpax^® ist ein relativ neues Glas von SCHOTT. Wenn Sie z. B. eine große Wafer-Serienproduktion planen und keine der rechts unten genannten Dicken in Ihre Anwendung passt, kontaktieren Sie uns bitte. Falls die benötigte Materialmenge ausreichend ist, können wir in der Einführungsphase von MEMpax^® darauf hinwirken, dass die von Ihnen gewünschte Glasdicke möglicherweise künftig ebenfalls von SCHOTT produziert wird.