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Auch im 48 h-Eilservice bestellbar
MEMpax® ist ein dünnes Glas mit den außergewöhnlichen technischen Eigenschaften von Borosilikatglas. Es bietet eine sehr glatte Oberfläche und erreicht resultierend aus einer technologisch ausgereiften Feuerpolitur eine äußerst niedrige Mikrorauigkeit von typisch < 0,8 nm. Auch die Oberflächenqualität und Ebenheit von MEMpax® ist bereits besser als das, was eine mechanische optische Standardpolitur bei solch geringen Glasdicken erzielen könnte.
Bedingt durch einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten, der nahe bei dem von Silizium liegt, eignet sich das Dünnglas hervorragend für anodisches Bonden. Daher stellen wir auch Wafer aus MEMpax für diesen Einsatzzweck her. Weitere typische Einsatzbereiche für das Dünnglas finden sich im Bereich MEMS (Mikroelektromechanische Systeme), in der Biotechnologie und vielen anderen Anwendungen, die ein dünnes Borosilikatglas erfordern.
Wenn Sie MEMpax® mit individuellen Abmessungen oder als Wafer anfragen möchten, wählen Sie eine Dicke aus der Dickentabelle aus oder klicken Sie bitte auf nachfolgende Schaltfläche.
Hinweis: MEMpax® ist ein relativ neues Glas von SCHOTT. Wenn Sie z. B. eine große Wafer-Serienproduktion planen und keine der rechts unten genannten Dicken in Ihre Anwendung passt, kontaktieren Sie uns bitte. Falls die benötigte Materialmenge ausreichend ist, können wir in der Einführungsphase von MEMpax® darauf hinwirken, dass die von Ihnen gewünschte Glasdicke möglicherweise künftig ebenfalls von SCHOTT produziert wird.
UV-Transmission bei 0,5 mm Glasdicke
Kurve vergrößert anzeigen
Dicke (mm) |
Toleranz |
![]() |
---|---|---|
0,200 | ±0,012 | ✔ |
0,300 | ±0,012 | ✔ |
0,400 | ±0,015 | ✔ |
0,500 | ±0,018 | ✔ |
Mit "✔" markierte Dicken sind auch im 48h–Eilservice lieferbar. | ||
Wenn Sie größere Glasdicken benötigen, bietet sich alternativ SCHOTT BOROFLOAT® 33 an. Es weist nahezu dieselbe thermische Ausdehnung, den gleichen Brechungsindex und eine fast identische Dichte wie MEMpax® auf. BOROFLOAT® ist in einem sehr breiten Dickenbereich ab 0,7 mm Dicke verfügbar. |
Brechzahlen von MEMpax |
||
---|---|---|
Bezeichnung |
Wellenlänge (nm) |
Brechungsindex |
ng |
435,8 |
1,4803 |
nF' |
479,9 |
1,4768 |
ne |
546,1 |
1,4732 |
nd |
587,6 |
1,4715 |
nD |
589,3 |
1,4714 |
nC' |
643,8 |
1,4696 |
nC |
656,3 |
1,4693 |
Dielektrizitätskonstante εr |
||||||
---|---|---|---|---|---|---|
Frequenz in GHz | 0,001 |
1,0 |
2,0 |
5,0 |
24 |
77 |
4,8 |
4,4 |
4,5 |
4,4 |
4,4 |
4,5 |
Dielektrischer Verlustfaktor tan(δ) x 10-4 |
||||||
---|---|---|---|---|---|---|
Frequenz in GHz | 0,001 |
1,0 |
2,0 |
5,0 |
24 |
77 |
37,6 |
58 |
62 |
73 |
130 |
140 |
MEMpax® und BOROFLOAT® sind eingetragene Marken der SCHOTT AG.
Alle gemachten Angaben und Spezifikationen sind mittlere Richtwerte und nicht garantiert. Bitte beachten Sie außerdem unsere "Hinweise zu Spezifikationen".© 1994 – 2024 Präzisions Glas & Optik GmbH
Letztes Update 14.05.2024