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MEMpax®

Dünnes Hightech Borosilicatglas

Besondere Eigenschaften

  • Äußerst geringe Dickentoleranzen
  • Geringe thermische Ausdehnung (ähnlich Silizium)
  • Hohe Einsatztemperatur
  • Niedrige Autofluoreszenz
  • Gute UV-Durchlässigkeit
  • Gute chemische Resistenz
  • Gute Isolationseigenschaften
  • Geringe Dichte
  • Hohe Lichttransmission
  • Ausgezeichnete Oberflächenqualität
  • Sehr geringe Mikrorauhigkeit

Typische Anwendungen

  • Wafer für anodisches Bonden
  • Mikroelektromechanische Systeme (MEMS)
  • Biotechnologie
  • Mess- und Sensortechnologie
  • Chemisch beständige Deckgläser

Verwandte Glastypen

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48 h-Eilservice Symbol Auch im 48 h-Eilservice bestellbar

MEMpax® ist ein dünnes Glas mit den außergewöhnlichen technischen Eigenschaften von Borosilikatglas. Es bietet eine sehr glatte Oberfläche und erreicht resultierend aus einer technologisch ausgereiften Feuerpolitur eine äußerst niedrige Mikrorauigkeit von typisch < 0,8 nm. Auch die Oberflächenqualität und Ebenheit von MEMpax® ist bereits besser als das, was eine mechanische optische Standardpolitur bei solch geringen Glasdicken erzielen könnte.

Bedingt durch einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten, der nahe bei dem von Silizium liegt, eignet sich das Dünnglas hervorragend für anodisches Bonden. Daher stellen wir auch Wafer aus MEMpax für diesen Einsatzzweck her. Weitere typische Einsatzbereiche für das Dünnglas finden sich im Bereich MEMS (Mikroelektromechanische Systeme), in der Biotechnologie und vielen anderen Anwendungen, die ein dünnes Borosilikatglas erfordern.

Wenn Sie MEMpax® mit individuellen Abmessungen oder als Wafer anfragen möchten, wählen Sie eine Dicke aus der Dickentabelle aus oder klicken Sie bitte auf nachfolgende Schaltfläche.

 

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Hinweis: MEMpax® ist ein relativ neues Glas von SCHOTT. Wenn Sie z. B. eine große Wafer-Serienproduktion planen und keine der rechts unten genannten Dicken in Ihre Anwendung passt, kontaktieren Sie uns bitte. Falls die benötigte Materialmenge ausreichend ist, können wir in der Einführungsphase von MEMpax® darauf hinwirken, dass die von Ihnen gewünschte Glasdicke möglicherweise künftig ebenfalls von SCHOTT produziert wird.

 

Spezifikationen


Transmission bei 0,5 mm Glasdicke

MEMpax® Transmission
Kurve vergrößert anzeigen


UV-Transmission bei 0,5 mm Glasdicke
MEMpax® UV-Transmission
Kurve vergrößert anzeigen


Standarddicken

(Zum Anfragen bitte Glasdicke anklicken)

Dicke (mm)

Toleranz

 48 h-Eilservice Symbol
0,200 ±0,012 ✔
0,300 ±0,012 ✔
0,400 ±0,015 ✔
0,500 ±0,018 ✔
Mit "✔" markierte Dicken sind auch im 48h–Eilservice lieferbar.
Wenn Sie größere Glasdicken benötigen, bietet sich alternativ SCHOTT BOROFLOAT® 33 an. Es weist nahezu dieselbe thermische Ausdehnung, den gleichen Brechungsindex und eine fast identische Dichte wie MEMpax® auf. BOROFLOAT® ist in einem sehr breiten Dickenbereich ab 0,7 mm Dicke verfügbar.

Optische Eigenschaften

  • Abbesche Zahl ve: 65,4

Brechzahlen von MEMpax

Bezeichnung

Wellenlänge (nm)

Brechungsindex
ng
435,8
1,4803
nF'
479,9
1,4768
ne
546,1
1,4732
nd
587,6
1,4715
nD
589,3
1,4714
nC'
643,8
1,4696
nC
656,3
1,4693

Mechanische Eigenschaften

  • Dichte: 2,22 g/cm3 (gekühlt mit 40 °C/h)
  • Elastizitätsmodul E: 62,7 kN/mm2
  • Poissonzahl μ: 0,196
  • Torsionsmodul G: 26,2 kN/mm2
  • Knoop-Härte HK0,1/20: 430

Thermische Eigenschaften

  • Mittlerer thermischer Ausdehnungskoeffizient:
    3,3 × 10-6/K (20 °C ; 300 °C) (statisch gemessen)
  • Spezifische Wärmekapazität cP: 0,82 kJ (kg × K)-1
  • Wärmeleitfähigkeit: 1,12 W (m × K)-1 (90 °C)
  • Transformationstemperatur Tg: 532 °C
  • Viskositäten:
    • Einsinktemperatur (104 dPa): 1284 °C
    • Erweichungspunkt (107,6 dPa): 831 °C
    • Oberer Kühlpunkt (1013 dPa): 570 °C
    • Untere Kühltemperatur (1014,5 dPa): 528 °C

Chemische Eigenschaften

  • Wasserbeständigkeit: Klasse HGB 1 (gemäß ISO 719)
  • Säurebeständigkeit: Klasse S 1 (gemäß DIN 12 116)
  • Laugenbeständigkeit: Klasse A 2 (gemäß ISO 695)

Elektrische Eigenschaften

Dielektrizitätskonstante εr
Frequenz in GHz
0,001
1,0
2,0
5,0
24
77
 
4,8
4,4
4,5
4,4
4,4
4,5

Dielektrischer Verlustfaktor tan(δ) x 10-4
Frequenz in GHz
0,001
1,0
2,0
5,0
24
77
 
37,6
58
62
73
130
140
  • Spezifischer Durchgangswiderstand ρD  (Ω x cm)
    für Wechselstrom (50 Hz):
    • 1,18 × 108 (250 °C)
    • 4,24 × 106 (350 °C)

MEMpax® und BOROFLOAT® sind eingetragene Marken der SCHOTT AG.

Alle gemachten Angaben und Spezifikationen sind mittlere Richtwerte und nicht garantiert. Bitte beachten Sie außerdem unsere "Hinweise zu Spezifikationen".

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